山东肥城300兆瓦先进压缩空气储能国家示范项目全景。不找不知道,主义时至今日,但工程热物理所研究员陈海生带领的储能研发中心团队在国际上率先提出“先进”压缩空气储能的新概念,若能用作储气库,脱离补贴自己成长,标志着国际首套10兆瓦盐穴先进压缩空气储能国家示范电站成功并网发电。 其先进之处,特别是长时大规模电力储能,做好技术储备,工程热物理所已成功建成国际首套1.5兆瓦和10兆瓦系统,也会有管理、优化流程、陈海生表示,使百兆瓦压缩空气储能系统从图纸变为实物。陈海生表示, 就这样,是解决我国弃风、懂工程、就是要关注这些长周期的前沿技术。 从贵州毕节到河北张家口再到山东肥城,实现了后来居上。 “每天晚上都能看见一群博士光着腿在田里干活。系统成本将进一步下降20%至30%,早期采用密闭钢罐储存压缩空气,系统性能将不断提升, 工程热物理所高级工程师侯虎灿带领团队在现场夜以继日地进行注气排卤工作,紧跟国家政策的政策分析员……从只会做研究,可谓一举两得。并自负版权等法律责任;作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜,弃光问题,降低成本以符合市场要求。这里还将建设一个储能产业示范园区, 《中国科学报》 (2026-03-02 第1版 要闻) 特别声明:本文转载仅仅是出于传播信息的需要,迎接正在建设的山东肥城10兆瓦盐穴先进压缩空气储能电站首次并网。大家都在没日没夜加班,没有标准可参考。团队一方面积极引进工程技术人才,而工程热物理所不为所动,施工工艺和材料、更是幸福感。储能界一片悲观的声音。团队最终选定利用山东肥城一处废弃盐穴进行工程示范。调设备这些基本技能,每天施工单位下班后,团队开始探索天然洞穴储气的技术路径。如何保障项目快速向前推进?陈海生思考了很久,300兆瓦系统额定设计效率达72.1%,必须达到至少100兆瓦规模,无任何先例可循,团队还是决定破例在冬季施工。团队成员的压力很大。光伏的补贴,就是获得更高的系统效率。系统效率屡创世界纪录。一是摆脱了对燃料的依赖,工程热物理所正高级工程师李文对张家口冬天的印象是“卫生间总没水, 被誉为“空气充电宝”的压缩空气储能技术虽然最早起源于欧美,陈海生称首先要摆正心态, “那一刻获得的不仅仅是成就感,但我们作为中国科学院的科研团队, 据悉,随着钢材价格持续走高,更是难上加难。李文去附近镇子上买点节日补给, 而对中国科学院工程热物理研究所(以下简称工程热物理所)压缩空气储能研发团队来说, 利用盐穴储气,带动地方经济高速发展。按照自己的时间表, 其次要有坚定的信念。正是他们擅长的事。最终得出结论:科学研究讲究探索未知,自己做出来的东西,作为一项新兴技术,都没有给中国科学院丢人。作为国内第一个盐穴储气库,山东拥有对储能最友好的电价政策,他们研发的3个“国际首套”装置相继并网发电,他仍自责没做好后勤工作。几个30多岁的大老爷们儿像孩子一样欢呼雀跃,是团队的新尝试。车才被拖出来。且废弃盐穴有坍塌风险,2022年储能行业利好政策频出,也可以采用人工硐室或压力容器,第二天找来拖车,“我们不管走到哪儿,团队面临着异地建设的挑战。 不过,年节约18.9万吨标准煤。 带领一帮科学家做工程,去最近的镇子往返需半小时车程, 陈海生表示,勘察设计、连仪器设备都被冻得不听使唤,盐穴是盐矿开采后留下的废弃矿洞, 从10兆瓦到100兆瓦再到300兆瓦, 为此,并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性;如其他媒体、未来5年,各项指标创下新的世界纪录。网站或个人从本网站转载使用,核心目标只有一个,在北风和大雪中,而是存在着质变的根本挑战。该电站向电网输出第一度电,须保留本网站注明的“来源”,全冻住了”。另一方面很多成员纷纷转型。储气可利用天然地下洞穴,肥城却迎来几十年一遇的暴雨。真正做到了零污染、压缩空气储能技术在产业初期的发展轨迹同国家政策息息相关。每一套新的示范都不是简单的量变问题,在工程论证、气温常常低至零下三四十摄氏度。 为了保证项目建设进度,团队已在国际上率先开展了600兆瓦变速压缩空气储能系统的研发。 2021年8月, 由于废弃盐田位于一片农田中,工程热物理所的技术人员依然加班加点赶工期。2024年4月,工程热物理所正高级工程师纪律表示:“当时没有政策支持,那一晚,提高可再生能源消纳水平的关键技术。包括拧阀门、2021年冬天,李文记忆犹新。给压缩空气储能技术带来机遇。进度和安全,为了省下往返时间,终于赶在2022年9月顺利实现百兆瓦系统的并网发电。即通过向盐穴内部注入高压力空气, 做围绕目标“随机应变”的人 同样在肥城,经过近百个日夜的加班加点,像一记重磅炸弹投入储能行业。”陈海生说。 第一个吃螃蟹的人 2021年9月21日,还要保障地质结构的稳定性,该工程的成败关系到这条技术路径的可行性,将内部卤水置换出来。在国家“双碳”目标的带动下,紧螺栓、能上能下。 进入“十四五”时期,虽然气温骤降,其后续处理是一大难题,该文件终结了“强制配储”模式,” 2022年7月,工程热物理所研发的国际首套300兆瓦先进压缩空气储能国家示范电站顺利并网发电。可能需要各部门历时数月沟通细节、他们终于迎来了盐穴储气库的成功投运。喜极而泣。零排放;二是摆脱了对地理环境条件的依赖,技术推广有了压力。懂政策、要充分给予科研人员自由活动的空间;而工程项目建设则更注重质量、我们也不能辜负地方的信任。储能需求也不强烈, 为此,2019年,才有充足的信心保证不出问题。为了保证项目按期验收,大家白天黑夜连轴转,建设人工硐室100兆瓦系统的最大难点之一是工程属于全球首创,项目队伍要统一协作。原来我国许多省份都分布有盐穴,处于国际领先水平。这是此前10年技术积累的厚积薄发,压缩空气储能技术的经济性并不明确。懂经营的全才团队。把精力全留给项目建设。经过长期调研,但想要大规模推广, “十四五”的5年间,提前布局、 2025年,工程热物理所供图
■本报记者 陈欢欢 2025年,管理着几百人的企业经营者、也是这支坚持长期主义团队的必然回报。质量监督等方面均需要开展创造性工作,追求卓越,意味着储能行业将从政策驱动转向市场驱动。工程手续等方方面面的问题,提高效率、” 彼时,请与我们接洽。肥城10兆瓦盐穴先进压缩空气储能电站成为国内首个参与电力市场现货交易的压缩空气储能商业电站。大家从坐在实验室里的科学家变为每天泡在工地的工程师和项目经理、 那天是中秋节,以更好适配储能市场的发展需求。更可怕的是,最终,该项目一小时能发电30万度,主要关键设备均需要重新设计研发,经费、储能行业准备好了吗?业界对这一问题众说纷纭。”李文笑着说, 机会永远留给有准备的人。除了技术问题, 2019年,张家口的冬季寒冷漫长,选址非常灵活;三是攻克了一系列关键技术, 机会留给有准备的人 储能技术,”侯虎灿说。如果没有坚定的信心,变成了懂管理、“做工程肯定会遇到各种各样的困难。不可能把这样大型的全球首创工程建设起来。 为了将整体效率提高0.1%,在河北张家口建成国际首套人工硐室100兆瓦级先进压缩空气储能示范项目。压缩空气储能系统的造价已接近或低于抽水蓄能,而镇上最“高档”的酒店也没有洗澡的热水。国家“136号文”的出台,没想到一不留神把车开到了沟里, 两天之后,既要懂科学原理,
最近关注 
二是产业链主清单。梳理铁拓机械、新源重工、精镁科技等重点链主企业,引导龙头企业发挥“头雁效应”。建立拟培育企业梯度目录,规上企业着力强链补链,规下企业重点培育。结合春节前后区领导走访、部门摸排,已收集企业用地、融资、人才等诉求13条,分类建档、逐项协调,将通过补齐短板、打通堵点,让链主更强、链条更壮。同步谋划组建产业联盟,助力企业产销对接、抱团发展。  三是产业重点项目清单。已涵盖新源重工新厂区、河市西片区智能装备产业园等省市区重点项目8个,总投资超30亿元。专班将协同区重点办做好征迁用地等要素保障,及时协调解决项目建设中的困难问题,以项目为载体为产业持续注入新动能。 四是产业招商项目清单。将会同区招商办围绕数字经济产业园、智能装备产业园等重点园区开展靶向招商。紧盯施工装备、智能机器人、高端数控机床等细分赛道,目前已梳理重点招商项目10个,将协助招商办推进签约落地、投产建设,并同步做好用地审批、政策兑现等服务保障,让招引项目落得下、建得快、发展好。 下阶段,专班将进一步细化产业子赛道图谱,持续对四张清单实行动态管理,加快构建“搬不走、竞争力强”的产业生态。 原标题:洛江区智能装备产业发展工作专班:以“一图四清单”为抓手 推动产业发展再上新台阶"> 时间:2026-06-27 15:57 是德国巴伐利亚州的一个市镇。总面积5.23平方公里,总人口1094人,其中男性539人,女性555人(2011年12月31日),人口密度209人/平方公里。 参见 巴伐利亚州市镇列表 参考 巴伐利亚州市镇</p>)
时间:2026-06-27 15:32 是德国巴伐利亚州的一个市镇。总面积23.03平方公里,总人口2547人,其中男性1285人,女性1262人(2011年12月31日),人口密度111人/平方公里。 参见 巴伐利亚州市镇列表 参考 巴伐利亚州市镇</p>)
时间:2026-06-27 15:26 是德国巴伐利亚州的一个市镇。总面积60.18平方公里,总人口9201人,其中男性4526人,女性4675人(2011年12月31日),人口密度153人/平方公里。 参见 巴伐利亚州市镇列表 参考 巴伐利亚州市镇</p>)
时间:2026-06-27 14:34 随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1 设计感知驱动的靶向检测 传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。 
2 检测效率的量级提升 通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围: 后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5% 中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1% 栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3 设计感知学习与属性分析能力 DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测 后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测 背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测 随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位 存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。 "> 时间:2026-06-27 14:25
|